項(xiàng)目背景
光學(xué)鍍膜是精密光學(xué)、半導(dǎo)體、消費(fèi)電子、光伏等高端制造領(lǐng)域的關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)。通過在光學(xué)元件表面沉積納米級(jí)薄膜,實(shí)現(xiàn)增透、反射、濾光、導(dǎo)電等功能。光學(xué)鍍膜設(shè)備集成了真空系統(tǒng)、電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、離子束系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)等多重復(fù)雜子系統(tǒng),整個(gè)鍍膜過程需在高度真空環(huán)境下完成多層復(fù)合鍍膜作業(yè),對(duì)設(shè)備的自動(dòng)化控制精度、系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定性和人機(jī)交互體驗(yàn)提出了極高要求。以下阿普奇強(qiáng)擴(kuò)展無風(fēng)扇工控一體機(jī)PL185CQ-E6在光學(xué)鍍膜中的解決方案。
